نانو استنسیل (حکاکی با استفاده از نانوشابلون)، یک روش نوین برای تولید نانوساختارها است. در این روش از شابلون هایی با سوراخ های نانومتری برای انتقال مواد به زیرلایه استفاده می شود. این یک روش سادهٔ بی نیاز از لایهٔ مقاوم (resist) است.با تکنیک نانواستنسیل ماده تحت یک وکیوم قوی (UHV) بخار می شود و به وسیلهٔ یک ماسک مستقیماً روی نمونه قرار می گیرد.امروزه مواد مختلفی ازجمله فلزات، سیلیسیم، سیلیسیم نیتر...
