اولین منبع عملی واقعی مایکرویو لامپ مگنترون بود که در دهه ۱۹۳۰ در انگلیس ساخته شد و سپس از آن در ساخت و توسعه سیستم رادار در خلال جنگ جهانی دوم استفاده شد. در سال های اخیر قطعات نیمه هادی به طور فزآینده ای جایگاهمایکرویو را پر نموده و مزایای متعدد هم دارند. اما هنوز هم لامپ ها برای تولید توان های بسیار بالا (۱۰ کیلووات تا ۱۰ مگاوات) و فرکانس های بالاتر امواج میلی متری (۱۰۰ گیگا هرتز و بالاتر)لازم ...