برآرایی بخار فلز آلی. برآرایی بخار فلز-آلی (به انگلیسی: Metal Organic Chemical Vapor Epitaxy) یکی از روش های لایه نشانی و به تعبیر بهتر برآرایی از فاز بخار است؛ از این فرایند برای رشد لایه های کریستالی مانند ساختارهای چند لایه نیمه هادی استفاده می شود. در این روش با استفاده از پیش ماده های آلی- فلزی (گازهای حامل فلز)، دمای رشد کاهش یافته و می توان لایه های نازک با کیفیت بهتری تهیه کرد. بر خلاف ر...